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压阻式压力变送器的释义

2019-05-27

       压力变送器是工业测控中最常见的一种压力传感器,主要是将气体或液体物理压力量线性转化为标准电信号的一种测量仪表。压力变送器广泛应用于石油、化工、电力、航空航天、船舶、管道等众多行业。

 

       在工业自动化中常用的压力传感器有应变片压力传感器、扩散硅压力传感器、单晶硅压力传感器等。其中半导体应变片式压力传感器又被称为压阻式压力传感器,半导体材料多采用单晶硅膜片作为弹性膜片元件。压阻式压力传感器由外壳、硅膜片、引线组成。它在硅膜片上利用MESM技术制造出4个等值的对称的扩散电阻,构成应变桥系统,膜片两边分部布置高压腔和低压腔。对应变系统施加恒定的电流,当硅膜片两边无压力差时,电桥处于平衡状态,无电阻值的变化,因此无电压的输出。当硅膜片产生形变,扩散在上面的4个电阻在应力的作用下,阻值发生变化,4个等值扩散电阻构成的应变桥系统失去平衡,输出相应的电压,且电压与膜片两边的压力差成正比。

 

       压阻式压力传感器具有精度高、稳定性好、量程范围广、尺寸精细等诸多优点,现广泛应用于各种工业压力变送器中。但因MESM技术工艺复杂,压阻式压力传感器的价格也稍显昂贵。